| 測量原理
非接觸式技術(shù)光波干涉法，與一已知平面（參考平面）比較法測量。
測量方法
采用等傾干涉法。在等傾干涉儀中用210mm長(cháng)平晶與200mm的研磨面平尺整段比較測量或與330mm的硬座面平尺分段比較測量，得到的測量值修正長(cháng)平晶工作面平面度后，按小條件計算得到研磨面平尺工作面的平面度。
測量程序
1. 用平面等傾干涉儀（裝置）測量研磨面平尺平面度。
2. 210mm長(cháng)平晶做標準器。
3. 等傾干涉儀做比較使用
4. 兩個(gè)1mm量塊研合在長(cháng)平晶兩端做支撐用
5. 研磨面平尺放置在檢定室內溫度平衡時(shí)間不少于10h
6. 長(cháng)平晶與研磨面平尺放置在食品內的溫度平衡時(shí)間，對于200mm研磨面平尺和210mm長(cháng)平晶不少于1h，對于330mm研磨面平尺和210mm長(cháng)平晶不少1.5h。
測量條件
1.平面等傾干涉儀（裝置）經(jīng)檢定符合JJG661-2004《平面等傾干涉儀檢定規程》要求。
2.210mm長(cháng)平晶的規程符合JJG28-2000《平晶檢定規程》要求。
3.210mm長(cháng)平晶工作面平面度符合JJG28-2000《平晶檢定規程》要求，且具有修正自重變形影響后平面度數據證書(shū)。
4.經(jīng)檢定兩塊1mm量塊的尺寸差小于0.1um。
5.檢定室溫度：（20±5）度，溫度變化不得超過(guò)0.1C/H 和1C/24H
6.檢定室內的溫度與食品保溫箱內的溫度之關(guān)小于0.2度。
7.測溫儀的分辨力：0.01度。
8.長(cháng)平晶的制造材料費是k9光學(xué)玻璃，研磨面平尺是鋼制的。
9.操作人員是經(jīng)過(guò)培訓的，且熟悉平面等傾干涉儀（裝置）的使用。 | 上一頁(yè)：無(wú) | | 下一頁(yè)：無(wú) |
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